讲师姓名：马震

讲师职务：埃地沃兹贸易（上海）有限公司 半导体事业部业务发展经理

讲师简介：

马震，上海理工大学“新能源材料”博士。专注的研究方向包括：EUV极紫外光刻真空系统的设计改进；真空泵和尾气处理设备的集成化设计；氢能源材料改进；纳米碳材料应用等。

马先生于2002年开始半导体职业生涯， 2011年加入 Edwards中国，时任半导体事业部业务发展经理。

他曾在多家跨国知名真空及尾气处理解决方案公司担任要职，为国内的关键客户提供产品技术支持，帮助其进行工艺质量优化，在真空及尾气处理领域有着多年实践经验。

演讲主题：

面板生产中含能材料的安全排放

演讲概要：

面板生产设备用到越来越多的含能材料，例如氢气(H2)，硅烷(SiH4)，TMA(Al₂(CH₃)₆)等。这些材料离开生产设备后一般被真空泵抽出，压缩并推送到尾气处理设备内做无害化处理后，由中央排气管道经由中央洗涤塔排放到环境中。

为了确保连续生产的安全，SEMI推出了针对含能材料安全排放的引导性标准“SEMI S30”，该标准指导了含能材料的无害化过程中智能管控和集成设计的建议。本资料将分享这方面的理念和实际应用经验。