职务：

上海微电子装备(集团)股份有限公司 平板显示事业部总经理

个人简介

周畅，男，1975.1，华中科技大学工学博士，教授级高级工程师，国家中组部“万人计划”领军人才。现为上海微电子装备(集团)股份有限公司平板显示事业部总经理，曾主持研制半导体先进封装光刻机、平板显示G2.5/G4.5/G6曝光机等多款高端精密装备，荣获上海市科学技术奖一等奖、中国国际工业博览会金奖等多项奖励。

演讲题目

精益求精，国产平板显示曝光机创新发展之路

演讲概要

多年来，SMEE不断创新，锐意进取，在风雨中逐渐发展壮大国产平板显示曝光机。秉承精益求精的精神，分辨率从2微米到1.5微米，再革新向1.2微米发展；同时，所支持的基板尺寸从2.5代到4.5代，再发展到6代和8代。然而，所需关键技术也越来越精密和复杂；SMEE不断攻克难关，开发了两大系列具有独立自主知识产权的国产曝光机。其中，小掩模系列曝光机采用独创的放大倍率物镜和精密的拼接曝光技术，具有高精度和低成本等特点；大掩模系列曝光机采用创新的光机技术，具有高透过率和大曝光场等特点。国产曝光机正在助力我国新型显示产业发展，未来将发挥越来越大的作用。